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集積回路、フラットパネルディスプレイ、光電子デバイスなどの製造工程では、半導体材料を高温で加工したり、複数のフィルムを塗布したりする必要があるため、真空ポンプが必要となります。高性能熱等方性プレス窒化ケイ素セラミックボールと真空ポンプ内に特殊加工した高精度レールウェイを使用することで、高温、高速、低振動、高汚染、潤滑不足、高信頼性、長寿命などの優れた性能を発揮します。窒化ケイ素真空ポンプ軸受は、dmn < 500,000時30,000時間以上連続して動作することができます。
