ウェーハ加工における精密回転
ウェーハ研削、薄化、研磨装置は、超精密な高速スピンドルに依存しています。高回転時の安定性は、ウェーハの平坦性とエッジの完全性に直接影響します。窒化ケイ素軸受ボールは、速度性能の向上、振動の低減、熱挙動の安定化により、スピンドルシステムを強化します。
低密度、高速能力
鋼と比較して、窒化ケイ素は回転質量を低減します。これは:に繋がります
1、遠心力を下げる
2、熱蓄積を減少させます
3、加速と減速を改善します
半導体スピンドルでは、動的バランスを改善した高回転数運転が可能です。
熱安定性と寸法制御
高速回転は熱を発生させ、予圧を変化させます。窒化ケイ素の低い熱膨張は、より安定したベアリング形状を保証し、スピンドル精度を保護します。
電動化されたアセンブリにおける電気保護
可変周波数ドライブは、ベアリングを介して放電を引き起こす可能性があります。セラミック圧延エレメントは、このリスクを排除し、早期の損傷を防ぎます。
プロセス品質利益
低振動、安定したプリロードにより、先進的な半導体加工におけるウェーハ表面品質、寸法管理を向上させます。
