現代の工場ではオートメーションが求められています
ウェーハトランスファーロボットは、クラスターツール内のプロセスチャンバを接続します。これらのロボットシステムは、清潔で継続的に動作する必要があります。窒化ケイ素軸受ボールをハイブリッド軸受に採用することで、精度向上とコンタミネーション抑制を実現しています。
いくつです互換性
金属粒子汚染は歩留まりを損なう可能性がある。セラミックローリングの要素から成ります
1、耐摩耗性
2、より少ない粒子を生成する
3、時間の経過とともに滑らかな表面を維持します
これにより、厳格なクリーンルーム要件をサポートします。
軽量ダイナミクスにより、サイクルタイムが短縮されます
圧延要素の質量の減少は、改善:
1、サーボ応答
2、加速度
3、位置再現性
これにより、自動ファブでのウェーハスループットが向上します。
耐腐食性、耐疲労性
ロボットシステムは軽度の化学的曝露に遭遇する可能性がある。窒化ケイ素の化学的安定性は、長期的なベアリングの完全性を維持します。
長期信頼性
24時間365日の連続運転では、長寿命化が求められます。ハイブリッドセラミック軸受は、全鋼製と比較して耐疲労性が向上しています。
