静電気チャック(ESC lyon)
酸化アルミニウムなどの誘電体材料を用いて静電場を介した非損傷吸着を実現し、プラズマプロセスに適しています。 クーロン型とjr型の2種類があります。後者は吸着力が強いが、脱離には逆電圧が必要である。
Advantages compared to traditional suction cups
characteristic | Ceramic suction cup | Traditional metal suction cups |
Adsorption uniformity | The microporous structure prevents local deformation. | Easily leads to wafer warping. |
Anti-static properties | Insulating materials eliminate electrostatic interference. | Additional anti-static treatment is required. |
Applicable scenarios | Ultra-thin wafers, high-precision manufacturing process | Routine handling, low-level manufacturing |
Supports custom specifications.
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