アルミナセラミックスは、半導体製造でウエハ搬送、位置決め、サポートなどに使用される高精度セラミックス部品です。その中心的な利点は、高純度、高耐熱性、耐食性、優れた絶縁特性にあります。以下は、主な特徴とアプリケーションシナリオの包括的な分析です。
材料特性
1. 超高純度:半導体グレードのアルミナセラミックスは、通常、ウェーハ処理環境の清浄度を確保し、金属イオン汚染(鉄含有量<5ppmなど)を防止するために、99.5%以上の純度を必要とします。
2. 抵抗探査ミッション:気温1400℃以上耐えや熱膨張係数(6.4-8.2×10⁻⁶/℃)試合シリコン素材の応力によるウエハー変形の防止。
3. 耐食性:プラズマエッチングに使用されるフッ素系・塩素系ガスに対して強い耐食性を示し、金属成分の10倍以上の寿命を有します。
製品デザイン
1. 精密構造:ウエハー処理ロボットやキャリアの一環としてと,-うちの捜査nanometer-level人の反り(例えば、±0.1μm)、低表面粗さを防ぐ(nm Ra< stemの)0.1 nmウエハー多い。
2. 絶縁と熱伝導率のバランス:絶縁強度≥15 kv /mm、熱伝導率は20-30 w /m・k、パワーデバイスの放熱要件に適しています。
アプリケーションシナリオ
1. エッチング装置:プラズマエッチングチャンバーの保護部品として使用され、粒子汚染を低減し、メンテナンスサイクルを延長します。
2. ウェーハハンドリング:真空環境でウェーハを安定搬送し、汚染を防止するために、真空サクションカップやロボットアームグリッパーとして使用されます。
3. パッケージングと試験:ウェーハの位置決め精度を確保するために、高温パッケージング工程における荷重軸受および固定部品として使用されます。
Supports custom specifications.
ご意見やご質問がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
