アルミナセラミック真空ハンドリングロボットアームの特徴と関連技術は以下の通りです。
Ⅰ。コア特徴
1. 純度の高い及び绝縁:アルミナセラミックロボットアームは小道具の受け渡しの純度99.5%是所蔵秀でて絶縁(抵抗率> 10¹⁴Ω・cm)、静電気発生を效果的に防ぐことを干渉しそれに処理に适敏感な半導体ウエハー対応などの電子部品だ。
2. 高温および耐食性:この材料は1600℃までの高温で安定して動作することができ、真空、高温、腐食性ガス環境に適しているため、強い化学腐食性を有しています。
3. 精密な加工技術: cnc数値制御加工技術を駆使してミクロンレベルの精度(表面粗さ0.1ミクロンなど)を実現し、ウェーハハンドリングにおける細孔ゼロ、クラックゼロという厳しい要求に応えます。
4. 汚染のない設計:非金属特性が金属イオンの放出を防ぎ、オプションのテフロン静電気防止コーティングと組み合わせることで、静電気放電やパーティクル汚染のリスクをさらに低減します。
Ⅱ。技術利点
1. 材料の性能:モース硬度は9に達し、耐摩耗性は金属よりも優れています;熱膨張係数が低い(×(8)10⁻⁶/℃)と强力な熱ショック抵抗を持っています。
2. 構造設計:接合技術により中空構造を実現し、軽量設計と機械的強度のバランスをとっています。
3. カスタマイズ機能:提供された図面とサンプルに基づいて処理をサポートし、異なるサイズと機能要件に適応します。
Ⅲ。アプリケーションシナリオ
1. 半導体製造:ウェーハのハンドリングに使用される真空セラミックアームは、清浄度、真空レベル、寸法安定性の要件を満たす必要があります。
2. 電子部品ハンドリング:静電放電による損傷を回避しながら、高温で腐食性のある環境で敏感な部品を正確に配置します。
3. 産業用オートメーション:アルミナセラミックフォークアームやエンドエフェクターなど、精密なハンドリングのニーズに合わせてカスタマイズされたロボットアーム。
Supports custom specifications.
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